聚合物微器件超声波成形与封接技术

本书为微器件超声波成形和封接领域的第一本专业书籍。聚合物微器件的制造属于非硅MEMS工艺，该类器件在生命科学和生物工程系领域极具应用前景。作者基于自己的主要研究成果，结合国内外相关超声波焊接方面的研究工作进展及相关理论，系统阐述了聚合物超声波产热机理、微结构的成形和封接机制与方法和精密超声波封接控制方法等。