光学干涉检测

本书介绍了光学干涉基本原理和方法，包括干涉基础、典型干涉仪、相移干涉、干涉图处理、绝对测量、像差分解、以及典型光学零件特别是非球面的几何参数测量方法和技术等。重点介绍了干涉技术的基本精髓所在，即光程差的调制及处理方法。