晶圆制造自动化物料运输系统调度

本书针对AMHS调度问题的大规模、随机性、实时性和多目标特点，在系统、深入地分析AMHS建模方法和运行特性分析方法的基础上，分别介绍了AMHS中的Interbay系统和Intrabay系统的优化调度方法，介绍了AMHS系统的集成调度和AMHS调度性能评价方法。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究晶圆制造AMHS调度问题提供理论基础，为推动晶圆制造AMHS调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。