MEMS惯性传感器技术

本书从MEMS惯性传感器的基本概念出发，简单介绍了MEMS惯性传感器的术语定义、分类、功能及作用原理；从研发和技术服务的角度简述了MEMS惯性传感器的敏感极性和参数计算及其调整；给出了公司制造MEMS角速率陀螺的两个企业标准；详细介绍了一较大量程MEMS角速率陀螺的制造工艺；介绍了MEMS惯性传感器的测试项目、测试方法及环境试验；也从性能参数出发阐述了MEMS惯性传感器的选择原则并介绍了国内外可供选择的MEMS惯性传感器产品及其它像光纤陀螺、激光陀螺、垂直陀螺等惯性传感器产品；特列了三十三个自行研制的不同量程型号的MEMS硅角速率陀螺使用说明书及其注释和国内外二十二个MEMS石英角速率陀螺技术条件及其注释；又从MEMS惯性传感器的应用角度讲述了MEMS惯性传感器应用的技术领域、MEMS角速率陀螺的应用特点和MEMS惯性传感器的安装要求；还对十余年来MEMS惯性传感器在各技术领域中典型的应用实例进行了一些粗浅的解析；最后，简单地介绍了MEMS惯性传感器的测试仪器和设备。