功能薄膜及其沉积制备技术

本书较全面地叙述了功能薄膜及其沉积制备技术。结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际，概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类，及功能薄膜设计的原则；重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备方法、原理、工艺特点及适用的领域；在装饰与机械功能薄膜中，讲述了主要膜系、膜层的设计原则，并分别列举了装饰与机械功能膜的典型应用及发展趋势；在物理和特殊功能薄膜中，讲述了微电子、电磁、光学、光电子、集成光学等功能薄膜以及几种特殊的功能薄膜的特点及其典型的应用；最后扼要地介绍了微细加工技术、微机电系统加工的特点、典型器件与系统的新应用等内容。全书内容系统，深入浅出地贯穿了一些新构思、新材料、新器件所实现的工程应用。