半导体化合物光电器件制备

本系列丛书共分《半导体化合物光电原理》、《半导体化合物光电器件制备》、《半导体化合物光电器件检测》三部。从ⅢA—ⅤA族半导体化合物的基本原理、光电器件制备与工艺，以及器件性能检测等方面，较系统地介绍了相关基础知识，适合材料，物理化学，光学，微电子学与固体电子学等专业的本科和研究生以及工程技术人员和企业相关人员阅读。