全柔顺并联机构理论 空间微纳尺度超精密定位系统研究

本书拟采用新型全柔顺并联支撑机构，基于螺旋理论及空间拓扑优化设计方法，对支撑机构空间构型进行综合与参数优化设计；采用多柔体弹性动力学理论，建立空间超精密定位系统弹性振动微分运动方程，探寻具有非线性时滞耦合特性的微分运动学/动力学方程求解方法，解决微纳尺度超精密定位过程中强非线性振动抑制问题；采用非线性分岔精密控制理论，研究多柔体复杂系统动力学特性，探讨微纳尺度定位过程中强随机性干扰对精密控制系统稳定性和鲁棒性的影响。