气体的吸附及薄膜材料的应用

本书共8章，内容包括变压吸附制氧概述、真空变压吸附制氧原理与流程、薄膜生长、薄膜结构和组份、薄膜表面科学基础、薄膜性能表征以及薄膜应用等内容。本书从材料的角度深入诠释了薄膜的各种制备方法、薄膜的性能、结构，适用面非常广。