SOI-纳米技术时代的高端硅基材料

绝缘体上硅（SOI）是纳米技术时代的高端硅基材料，是“新一代硅”，是微电子和光电子领域发展的前沿。本书收集纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的论文共40篇，包括SOI材料的进展、制备、特有的物理效应及若干应用。