铁电薄膜材料及其应用

铁电薄膜是一类重要的功能性薄膜材料。本书系统介绍铁电薄膜的概念、制备方法、结构、电性能和应用。全书共分六章：第一章引言，介绍铁电体和薄膜的概念、分类；第二章铁电薄膜的制备方法，介绍溶胶-凝胶（sol-gel）、金属有机化学气相沉积（MOCVD）、脉冲激光沉积（PLD）、磁控溅射这四种制备铁电薄膜方法的历史、原理、装置、工艺参数、优缺点；第三章铁电薄膜的晶体结构，介绍钙钛矿型、铌酸锂型、钨青铜型、TGS、罗息盐、铁电液晶、铁电聚合物几种主要结构的特点，重点在钙钛矿结构；第四章电畴，介绍电畴的概念、表征方法、类型、尺寸和极化反转；第五章铁电薄膜的电性能，介绍铁电薄膜的介电性能、压电性、热释电性、铁电性，重点在铁电性和介电性能；第六章铁电薄膜的应用，介绍铁电薄膜的主要应用，着重介绍声表面波器件、热释电探测器、铁电随机存取存储器、动态随机存取存储器、移相器的历史、原理、结构、性能和相应的系统。