RF MEMS理论·设计·技术

本书共分15章，论述RF MEMS与传统半导体器件相比之下的优点及其应用领域；论述RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型；论述了国际上RF MEMS 开关的研究进展；论述MEMS开关的制备、封装、可靠性及功率处理能力；MEMS开关的电路设计；论述MEMS移项器、分布式MEMS移相器及开关；MEMS变容器，调谐振荡器和电感器，给出了MEMS将来的发展方向。