微弱信号检测技术

本书主要阐述微机电系统中微器件的微弱信号检测技术，本书先由微机电系统入手，然后介绍了微弱信号检测的一些背景知识，重点阐述了微弱信号检测的方法与技术，以及针对微器件不同的检测方式详述其检测原理与检测方法，最后选取典型的微器件介绍了其微弱信号检测的实用电路。