SOI光波导器件

绝缘衬底上的薄膜硅材料（Silicon-on-insulator, SOI）是一种新型的Si材料，近年来在半导体光电子学领域的应用日益广泛。SOI光波导器件的研究成为目前硅光子学研究的一个热点问题。本书系统的介绍SOI材料的导波光学器件，特别是无源器件，光开关及其开关阵列的理论原理，以及器件制作方面的最新研究成果。