半导体芯片制造系统建模与优化调度控制

基于仿真的调度方法通常需要进行的仿真或者采用好的规则以优化调度结果，本文建立了以减小平均在制品为优化目标的半导体制造系统的调度模型，对模型进行分解和简化。把结论作为一个调度规则直接应用于仿真调度方法，由于充分利用了系统全局的状态信息，可以有效地减少仿真的次数，提高了高度的优化能力。