热丝法合成金刚石膜

本书首先对CVD金刚石薄膜性质及应用进行概述，然后对热丝化学气相法沉积金刚石薄膜的形核、生长过程及规律进行系统地研究分析，并对沉积过程中气相化学进行诊断分析，讨论添加辅助气体对气相活性基团的影响以及对沉积金刚石薄膜质量和生长速度的影响；最后介绍热丝CVD金刚石薄膜涂层钻头以及微米、纳米复合涂层金刚石膜模具。