电容式微机械超声换能器工作机理与应用基础

基于MEMS技术的电容式微机械超声传感器（CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer，CMUT）具有传统压电超声传感器所不具备的显著优势，有望替代传统压电超声传感器成为市场的主流产品。针对电容式微机械超声传感器开展相关理论与应用基础研究，具有十分重要的研究价值和现实意义。