洁净室及相关受控环境 理论与实践

本书凝结了作者及其科研团队几十年的研究成果，其中有科研成果的分享，也有经验的总结。书中对洁净室及相关受控环境相关内容的历史演变脉络做了概括地介绍。以方便扶着了解某项技术的方法、标准等的发展和变化，有助于把握这种技术的规律和思路；介绍了作者及其研究团队几十年来科研项目以及工程实践的案例，这些案例的研究思路、方法至今依旧具有借鉴价值。