软X射线与极紫外辐射的原理和应用

这本自成体系的综合教科书主要介绍软X射线与极紫外（EUV）辐射的基本特性，讨论它何在多个领域的广泛应用，包括用于半导体芯片制备的极紫外光刻和生物样品的软X射线显微。本书由辐射、散射、波的传播、衍射、相干等相关的基本原理的阐述作为开始，然后讨论了与软X射线与极紫外辐射相关的许多现象和应用。为了满足尽可能多的读者的需要，本书的每一章都从重要结果和概念的总结开始，紧接着是几乎没有数学公式的引言，随后是所讨论主题的详细数学演绎。本书的内容涉及极紫外光刻、生物显微术、光谱显微术、极紫外天文学、同步辐射、高温高密等离子体物理以及软X射线激光。本书还提供了大量有用的参考资料，如电子束缚能、特征发射线和光吸收截面的数据等。本书对于在工程、物理、化学和生命科学等领域工作的研究生和专业人员是非常有用的。同时它对于实际从事半导体制备和材料科学的工程师也是不可缺少的参考书。