声表面波材料与器件

本书是作者十余年工作的积累，是在获得2007年国家技术发明奖和2009年国家科技进步奖的基础上总结完成的。本书系统地介绍各类声表面波器件用压电材料和叉指换能器材料，各类声表面波器件设计及声表面波器件的制备工艺。形成一条从声表面波器件的材料选择，器件设计到工艺制备的主线。全书共5章。第一章概括性地介绍了声表面波器件的发展，声表面波器件的基本结构和特点，声表面波的基本原理及声表面波器件的应用。第二章在介绍完压电基础知识后详细介绍压电单晶，压电陶瓷以及压电薄膜这三大类声表面波器件用压电材料，分析其优缺点及其适用范围。第三章主要针对高频声表面波器件对叉指换能器材料提出的要求，介绍几种高频声表面波器件用的叉指换能器材料。第四章介绍高频器件用金刚石薄膜材料。第五章详细介绍各类声表面波器件及其设计理论和设计方法。第六章介绍声表面波器件的制备工艺及其表征方法，以及简单介绍国内声表面波器件的生产企业。