微机电系统机械学

本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微纳米系统阐述了应用实例。本书可以作为微机电系统及相关专业本科生或者研究生教材，也可以作为微机电系统设计开发的研究生和科研技术人员的参考书。