光学薄膜制备技术

本书为满足现代高职教育教学需要而编写的专业技术教材。内容包括光学薄膜原理、常用光学薄膜、真空镀膜技术、膜厚监控技术、薄膜制备工艺因素分析、真空镀膜材料、薄膜结构特性及膜层检测等几个部分内容。本书内容丰富、知识面广、实用性强，注重理论与实践相结合。