书籍 微电子制造技术概论的封面

微电子制造技术概论

严利人 周卫 刘道广编著

出版社

北京:清华大学出版社

出版时间

2010

ISBN

9787302208181

标注页数

165 页

PDF页数

184 页

书籍介绍
本书介绍和描述了集成电路工艺制造的成套工艺流程和各工艺单步的技术内容。对于流程的介绍,除举例和说明一般性流程特点之外,专有一章说明了流程调度实施的技术与算法。
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