半导体锗材料与器件

本书全面系统介绍了有关锗晶体生长、长入缺陷和工艺导致缺陷、不同材料、工艺相关问题直至最现代的ULSI器件等所有方面。第一章至第七章更多考虑引导性叙述，包括基础材料、缺陷和器件等内容。第八章到第十二章则偏重应用和工艺技术。最后在第十三章进行总结并展现了锗作为微电子材料的前景。