类金刚石膜的制备、性能与应用

本书介绍了类金刚石膜的结构、性能、主要制备方法及应用领域；阐述了脉冲激光溅射法制备薄膜材料机理和应用情况；研究了在高功率、高重复频率准分子激光作用条件下制备类金刚石膜的结果和以场发射平板显示器为应用方向的相关研究进展等。