书籍 薄膜技术与薄膜材料的封面

薄膜技术与薄膜材料

田民波编著

出版社

北京:清华大学出版社

出版时间

2006

ISBN

7302132380

标注页数

962 页

PDF页数

990 页

书籍介绍
本书内容包括真空技术部分、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析5大部分。
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