激光等离子体极紫外光刻光源

本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条件对光源光谱输出特性的影响，包括钆（Gd）靶激光等离子体的极紫外光谱及离带热辐射特性，预等离子体条件下Gd金属靶等离子体的极紫外光谱特性，收集方向对极紫外光谱特性影响及Gd2O3纳米粒子掺杂玻璃靶等离子体的极紫外光谱特性等。最后，详细介绍了工作波长6.7 nm极紫外光源离子碎屑特性及其阻挡的实验研究结果，给出了向真空靶室内充入缓冲气体、外加磁场、双脉冲激光打靶以及缓冲气体和双脉冲方案相结合等方法对Gd金属靶光源离子碎屑的抑制效果，并对减缓光源碎屑的方法进行对比。