书籍 微传感器 MEMS与智能器件的封面

微传感器 MEMS与智能器件

(英)朱利安 W.加德纳 (美)维贾伊 K.瓦拉丹 (美)奥萨马 O.阿瓦德卡里姆著

出版社

北京:中国计量出版社

出版时间

2007

ISBN

9787502625573

标注页数

477 页

PDF页数

494 页

书籍介绍
本书主要内容为电子材料与加工技术、标准微电子工艺、微传感器等。
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