表面分析 XPS和AES 引论

本书讲述了现代电子能谱中的单色化XPS、小面积XPS（SAXPS）、成像XPS、XPS深度剖析、场发射AES/SAM等功能的分析技术，以及在冶金学、腐蚀学、陶瓷催化剂、微电子半导体材料、粘胶科学、聚合物材料等领域中的应用。介绍了现代电子能谱仪中的微聚焦单色器、场发射体、离子枪、电子枪、能量分析器/传输透镜、荷电补偿器、多通道探测器、平行成像系统、平行数据采集、数据处理系统等等。书中将XPS和AES技术与其它表面分析技术作了比较。书后附有参考文献、中英文电子能谱分析技术名词术语、网络资源等一些有用的信息。