微电子机械微波通讯信号检测集成系统

从共性的设计理论和实现方法出发，对MEMS器件及其微波功率、相位和频率检测集成器进行了设计、测试和系统级S参数模型等研究，包括：（1）MEMS热电堆、MEMS固支梁和悬臂梁、功率分配器和功率合成器、耦合器和移相器等的微波集成设计，以及功率传感器的电-热-电转换模型和电-力-电转换模型建立的设计理论研究；（2）应用理论研究成果指导微波通讯信号检测集成系统的设计、与GaAsMMIC工艺兼容的MEMS工艺进行的单片系统集成、测试，以及可靠性分析和封装；（3）试验结果验证微电子机械微波通讯信号检测集成系统设计理论和实现方法的有效性。