集成电路工艺实验

集成电路工艺实验是为微电子科学与工程专业本科生设置的一门专业实验课，目的是让该专业的学生了解和掌握半导体集成电路的工艺技术，使学生具有制造半导体集成电路的实际动手能力，为今后集成电路芯片及半导体分立器件的研究、设计与制造工作打下基础。本书是为微电子科学与工程专业本科生编写的集成电路工艺实验教材，也可作为太阳能光伏专业、光电子专业等相关专业的教材，还可作为太阳能电池、LED芯片制造等半导体分立器件行业相关工程技术人员的培训教材或参考工具书。