精密超精密加工在线检测与误差分离技术

本书为有关精密、超精密加工在线检测与误差分离技术方面的专著，共分九章，第一章介绍自行开发的用于超精密加工在线检测与误差分离技术的位移测量仪器；第二章介绍超精密直线度测量以及误差分离技术；第三章介绍起精密圆度及主轴回转运动误差在位测量与分离技术；第四章介绍超精密加工的圆柱度在线测量与误差补偿技术；第五章介绍超精密大型平面磨床在线平面度测量；第六章介绍基于李群李代数的形位公差统一模型与建模方法。