等离子体放电原理与材料处理

本书前九章讲解了低气压等离子体物理和技术的基础理论和知识，其中包括气相和表面的物理化学过程。第十章和第十八章分别介绍了等离子体粒子和能量平衡以及动力学理论的知识。十一至十四章分别讲解了各种放电方式，十五至十七章讨论了刻蚀和沉积的知识和技术以及尘埃等离子体。