书籍 硅微机械加工技术的封面

硅微机械加工技术

(法)M.埃尔温斯波克(M. Elwenspoek) (捷)H.扬森(H. Jansen)著 姜岩峰译

出版社

北京:化学工业出版社

出版时间

2007

ISBN

9787502592585

标注页数

348 页

PDF页数

358 页

书籍介绍
本书介绍了硅微加工技术中应用的各种方法微型结构的铸模等。
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