现代薄膜材料与技术

本书在阐述有关薄膜的物理化学基础理论以及真空和低温等离子体技术的相关知识的基础上，重点介绍了功能薄膜、超硬薄膜等一些新型薄膜材料，各种薄膜材料制备方法和材料表面改性技术，并给出了薄膜材料的表征评价方法。内容包含了作者们多年来教学和科研成果，也反映了国内外该领域的最新科技成果。本书不仅可作为材料、冶金、化工、凝聚态物理专业的研究生教材，也可供从事薄膜材料和表面工程研究的科技人员参考。