聚焦离子束微纳加工技术

本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构，包括离子源、离子光柱体和控制系统；工作原理；关键技术；装置发展状况和应用实例，内容极具科技前沿性及前瞻性。本书对于从事微米纳米级加工技术、微电子、光电子、微机械、纳米器件研究的科技人员，相关大专院校的教师、研究生和本科生都有重要的参考价值。