现代传感器原理及应用

本教材既注重传感器的基本概念、原理和效应，又兼顾其新的发展，同时还阐述了和传感器密切相关的传感器主要的支撑技术，如微纳技术、 微细加工和传感器功能材料的一些基本概念和内容 。主要内容包括：传感器特性与评价，传感器功能材料，微细夹攻技术，传感器的基本物理原理，效应与器件，物理传感器及主要物理量检测，化学传感器，生物传感器，传感器的集成化，智能化和网络化，传感器的系统构成，微机电系统的发展方向。