金刚石薄膜沉积制备工艺与应用

本书阐述了各种沉积薄膜的制备方法；论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素；同时介绍了性能接近金刚石膜的类金刚石膜的制备工艺、性能和应用。