引信用MEMS开关设计方法

本书主要研究了MEMS开关的多物理场及耦合现象，针对不同的需求设计了三种MEMS开关模型，介绍了多弹性支撑环形分布式MEMS万向惯性开关的加工工艺流程，研究了开关的检测技术，设计了一种冲击台试验该冲击台能够通过增加缓冲垫达到增加加速度脉冲宽度的目的。