书籍 金属有机化合物气相外延基础及应用的封面

金属有机化合物气相外延基础及应用

陆大成 段树坤著

出版社

北京:科学出版社

出版时间

2009

ISBN

9787030238450

标注页数

363 页

PDF页数

371 页

书籍介绍
本书是国内第一本全面系统地介绍金属有机化合物气相外延(MOVPE)的专著。本书共10章:第1章概述;第2章生长系统;第3章原材料;第4章MOVPE生长热力学和反应动力学;第5章MOVPE反应室内的输运现象与模型化;第6章MOVPE中的表面过程;第7章III-V族化合物半导体的MOVPE生长;第8章II-VI族半导体的MOVPE生长;第9章低维结构的MOVPE生长;第10章MOVPE技术在器件方面的应用。其特点是从理论和实践两个方面加以论述。反映国内外最新进展,包括本书作者在内的我国科学工作者的研究成果。
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