薄膜制备技术基础 原著第4版

本书全面介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法，薄膜加工方法以及常用的薄膜性能表征技术等。