超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制

本书阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。主要内容：超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算理论与方法；超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析；超精密定位的定位运动分析及其控制方法研究；最后示出一个基于超精密气浮支承的定位平台的动力学、定位精度及其基于混合趋近滑模控制方法的设计实例与相关实验结果。