高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597
系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
盛海洋主编；聂莉萍，沈秋雁，沈义参编；王兴国，林万福主审2016 年出版238 页ISBN：9787111527121
本书分工程地质和桥涵水文两大部分，共十四章。第一部分工程地质，主要介绍了岩石及其工程地质性质、地质构造、地貌及第四纪地质物理地质作用及地质现象、地下水、岩体结构与稳定性分析、公路工程地质问题和公...
