微位移平台数据采集与处理技术

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邵萌，赵德宏，王赛男著2018 年出版168 页ISBN：9787551720229

《微位移平台数据采集与处理技术》一书以沈阳建筑大学微纳检测与运动控制实验室的纳米位移定位平台为研究对象，对微位移平台数据采集，包括控制系统数据采集部分以及检验系统数据采集部分分别进行了介绍，并对控...