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可控硅应用线路123例
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上海海燕半导体器件厂技术应用部编1985 年出版229 页ISBN:15119·2470
化学清洗
《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版81 页ISBN:15034·1263
衬底制备
《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版101 页ISBN:15034·1257
硅材料制备
《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版357 页ISBN:15034·1254
扩散技术
《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版149 页ISBN:15034·1248
测试
《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版350 页ISBN:15034·1270
隔离技术
《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版85 页ISBN:15034·1252
制版技术
《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版101 页ISBN:15034·1264
光刻技术
《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版78 页ISBN:15034·1256
氧化技术
《半导体器件制造技术丛书》编写组1971 年出版52 页ISBN:15034·1240