(英)戴姆伯斯(Dempsey,T.)著;文刀译1987 年出版281 页ISBN:7051·1072
本书是一本以图来讲解化学基础知识和基本概念的书。全书共18章。
(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译2003 年出版673 页ISBN:7030105656
本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书,全书共分九章,几乎涉及MEMS技术的所有研究领域,畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理,并在此基础上,对典型器件和系,统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...
ROGER A.BRUMBACK AND JEFFERY GERST1984 年出版354 页ISBN:0879932104
ROGER C.PARK RICHARD D.FRIEDMAN2013 年出版1526 页ISBN:9781609301385
GEOFFREY P.ALPERT ROGER G.DUNHAM1988 年出版194 页ISBN:0881333212