Microengineering

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MEMS2006 年出版0 页ISBN：

design

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fabrication and cad for mems devices2222 年出版0 页ISBN：

electrochemical micromachining for nanofabrication

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mems and nanotechnology2222 年出版0 页ISBN：

ELECTROCHEMICAL MICROMACHINING FOR NANOFABRICATION

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MEMS AND NANOTECHNOLOGY2015 年出版270 页ISBN：0323327374

MEMS可靠性

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东南大学MEMS教育部重点实验室著2009 年出版247 页ISBN：9787564115753

本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著，分为两部分，第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方式；第二部分论述MEMS器件的可靠性。

SMART STRUCTURES AND MATERIALS 2004 SMART ELECTRONICS

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MEMS2004 年出版0 页ISBN：