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集成电路工艺基础
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王阳元等编著1991 年出版610 页ISBN：7040033143
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宁希元等著1985 年出版287 页ISBN：
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刘炳元等编著1998 年出版107 页ISBN：7505813838
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黎盛荣，涂子元等编著1999 年出版271 页ISBN：7535728456
