(美)O. Brand ,(美)G. K. Fedder著;黄庆安,秦明译2007 年出版500 页ISBN:7564107847
本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用,包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其电路或系统的集成化技术,CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器和RF器件及系统中的...
(美)安东尼(Gardner Chace Anthony),(美)阿什利(George F.Ashley)著;叶庆桐译1951 年出版207 页ISBN:
(英)盖欧尔格·里希特海姆(George Lichtheim)著;王少军,晓莎译1989 年出版221 页ISBN:7500404212
本书根据英国芳塔纳出版社1970年英文版译出。