(美)伊莱扎·G.柯林斯(Eliza G.C.Collins),(美)玛丽·A.德文娜(Mary Anne Devanna)编著;张宇宏等译1997 年出版499 页ISBN:7532720039
据约翰·威利父子公司1994年版译出著者通译:M.A.德瓦娜。
(英)约瑟夫·G.内利斯(JosephG.Nellis),(英)大卫·帕克(DavidParker著1997 年出版214 页ISBN:7300024947
(美)约翰·G.格利(John G.Gurley),(美)爱德华·S.肖(Edward S.Shaw)著;贝多广译1994 年出版319 页ISBN:720801874X
FOUNDATIONS OF MEMS SECOND EDITION
CHANG LIU2011 年出版576 页ISBN:7111358279
本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传...
(列支敦士登)温克勒(O. Winkler,(美)巴克西(R. Bakish)主编;康显澄等译1982 年出版549 页ISBN:15119·2213