第五届全国半导体化合物材料 微波器件 光电器件学术会论文集摘要
中国电子学会半导体与集成技术学会,中国电子学会电子材料学学会编1988 年出版272 页ISBN:
(美)Gilleo,K.吉列奥,中国电子学会电子封装专委会,电子封装技术丛书编辑委员会著2008 年出版236 页ISBN:7122015181
本书的主要内容为MEMS和MOEMS电子封装工程基础,MEMS和MOEMS器件的原理、材料与制造,MEMS/MOEMS封装面临的挑战和策略,MEMS/MOEMS封装材料和工艺,以及纳米技术。...